Nieuwe Metrologische Atoomkrachtenmicroscoop ontwikkeld binnen het NanoInstrumentation Flagship

NanoNed -onderzoekers van de TU Eindhoven hebben een nieuwe metrologische atoomkrachtenmicroscoop (AFM) ontwikkeld.

Deze nieuwe AFM maakt, in vergelijking met huidige AFM’s, een groter scanbereik mogelijk, waardoor de nauwkeurigheid van de metingen toeneemt. De Microscoop is ontwikkeld in het cluster Metrology Stages binnen het NanoInstrumentation Flagship. Het Nederlandse metrologisch instituut VSL gaat het instrument gebruiken voor de kalibratie van andere AFM's, en deze zo te standaardiseren.

Een atoomkrachtenmicroscoop maakt gebruik van een naald om het te scannen oppervlak op atomaire schaal te verkennen. In vergelijking met de elektronenmicroscoop heeft deze techniek als voordeel dat het niet in hoogvacuüm hoeft worden uitgevoerd. De resolutie die bij de metingen kan worden bereikt is hoger dan bij de optische microscoop.

Met een meetvolume van 1x1x1 mm beschikt het instrument over een aanzienlijk groter scanbereik dan de meeste huidige metrologische AFM's. Het ontwerp laat hoge scansnelheden toe waardoor de meettijd, en daarmee de invloed van temperatuurveranderingen op de meetresultaten, beperkt blijft.

Nanostage_3d
click here to play again

Door de modulaire opbouw kan de AFM eenvoudig, en met behoud van nauwkeurigheid, worden vervangen door elk willekeurig ander type sensor.

Meer informatie over de techniek en toepassingen van dit apparaat kunt u vinden op www.nanostage3d.com.