"Fabrication of three-dimensional nanostructures by focused ion beam milling," van Willem Tjerkstra is recentelijk verschenen in the Journal of Vacuum Science and Technology B. Het artikel beschrijft hoe men in staat is met een gefocusseerde ionenbundel een grote driedimensionale nanostructuur te fabriceren in galliumfosfide.

De structuur is gemaakt door in twee loodrecht op elkaar staande richtingen te etsen, en heeft dimensies in de orde van 5 µm. De kleinste afmetingen in de structuur zijn 250 nm groot. Door gebruik te maken van uitrichtkenmerken kon men de twee loodrecht op elkaar staande patronen op elkaar uitlijnen met een nauwkeurigheid van 30 nm; een niet eerder vertoonde prestatie. Men heeft de invloed van redepositie van vrijgemaakt materiaal uitgebreid onderzocht en beschreven in het artikel.